В ходе выполнения проекта по соглашению о предоставлении субсидии от 30 июня 2014 г. № 14.575.21.0045 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» на этапе № 1 в период с 30.06.2014 г. по 30.12.2014 г. выполнены следующие работы:

– проведены патентные исследования;

– обосновано и выбрано направление исследований многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров;

– разработан перечень технологических операций и обоснование необходимого технологического оборудования для изготовления многоосевых интегральных сенсоров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки;

– разработаны математические модели многоосевых интегральных сенсоров;

– разработана методика моделирования многоосевых интегральных сенсоров;

– разработана методика изготовления экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов.

Новизна полученных результатов заключается в решении проблемы повышения функциональных возможностей микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров посредством использования принципа функциональной интеграции. Данный подход обеспечивает повышение функциональных возможностей микро- и наномеханических сенсоров и по результатам теоретических исследований позволит регистрировать угловые скорости и линейные ускорения по нескольким осям чувствительности.

Полученные результаты:

– полностью соответствуют требованиям технического задания;

– соответствуют мировому уровню, а по некоторым пунктам превосходят его.

Уникальный идентификатор – RFMEFIBBB14X0217